MDPspot 單點(diǎn)壽命檢測(cè)儀
桌面單點(diǎn)測(cè)量
低成本的臺(tái)式少子壽命測(cè)量系統(tǒng)，對(duì)不同制備階段的硅材料電學(xué)參數(shù)進(jìn)行表征。沒有內(nèi)置自動(dòng)化。可選配手動(dòng)z軸，用于厚度在156毫米以下的晶錠。
MDPspot可配電阻率測(cè)試選項(xiàng)。僅適用于硅，用于晶圓片，也可用于晶錠。
結(jié)果可視化的標(biāo)準(zhǔn)軟件。
特性
- 無接觸和非破壞的電學(xué)參數(shù)測(cè)試
對(duì)外延工藝監(jiān)控和不可見缺陷檢測(cè)，具有高分辨的可視化測(cè)試
對(duì)于不同級(jí)別晶圓片，提供不同的菜單選項(xiàng)
優(yōu)勢(shì)
用于不同制備階段，從成體到最終器件，多晶硅或單晶硅單點(diǎn)測(cè)量載流子壽命的臺(tái)式裝置。體積小，成本低，使用方便。擁有一個(gè)基本的軟件，結(jié)果可視化。
適用于晶圓片到晶錠，易于高度調(diào)整。
Exemplary linescans
| 樣品 | 不同工藝處理樣品，如鈍化或擴(kuò)散后的單晶或多晶硅晶圓、晶錠、電池等 |
| 樣品尺寸 | 50 x 50 mm² 到12“ 或210 x 210 mm² |
| 電阻率 | 0.2 - 10³ Ohm cm |
| 材質(zhì) | 硅晶圓，晶錠，部分或全部加工晶圓，化合物半導(dǎo)體和其它類型 |
| 少子壽命檢測(cè)范圍 | 20ns到幾十ms |
| 尺寸 | 360 x 360 x 520 mm，質(zhì)量：16 kg |
| 電源 | 110/220 V, 50/60 Hz, 3 A |
其它細(xì)節(jié)
允許單片調(diào)查不同種類晶圓片有不同的菜單
監(jiān)控材料、工藝質(zhì)量和穩(wěn)定性