MDPinline ingot 晶錠在線面掃檢測儀
MDPinline ingot系統是一種多晶硅晶錠電學參數特性測量工具。它是專為高通量工廠的單塊晶錠測試而研發的。每塊晶錠可以在不到一分鐘時間里測量其四面。所有的圖譜(壽命，光電導率，電阻率)都是同時測量的。
該系統包括一個數據庫和統計數據評估，可用于自動確定精確的切割位置，以提高成品率。用于材料質量監控，爐選擇和工藝改進。
少數載流子壽命的檢測能力
Automated determination of cut off criteria
先進的靈敏度讓所有隱形缺陷可視化
自動切割標準定義
獲取體材料性質的穩態測量
完全自動化的內聯集成
對太陽能級硅錠進行掃描，1mm分辨率
測量時間:1分鐘內完成晶錠的面掃描，可自動測量所有4個面
性能
無接觸破壞的半導體特性少數載流子壽命的檢測能力
Automated determination of cut off criteria 先進的靈敏度讓所有隱形缺陷可視化
自動切割標準定義
獲取體材料性質的穩態測量
完全自動化的內聯集成
對太陽能級硅錠進行掃描，1mm分辨率
測量時間:1分鐘內完成晶錠的面掃描，可自動測量所有4個面
優勢
- 先進光伏晶圓廠多晶硅晶錠在線特性快速檢測的世界記錄。
- 在1分鐘內完成分辨率大于1mm成像掃描測試，同時可完成電導類型轉變的空間分布掃描和電阻率的
- 線掃描測試。客戶定義的切割標準可以傳輸到晶圓廠數據庫，該數據庫允許對下一代光伏晶圓廠進行完全自動化的材料監控。
- 對爐料進行質量控制和爐況監測，并進行失效分析。特殊的“underneath the surface”測量技術大大減少了表面重組造成的數據失真。
Recognition of cracks, chunks etc. 
Automated cut criteria definition, lifetime map - 技術參數
樣品 多晶硅晶錠 樣品尺寸 125 x 125到 210 x 210 mm² 硅錠最大長度 600 mm 電阻率 0.2 - 10³ Ohm cm 電導類型 p, n 材質 多晶硅 檢測性能 壽命(穩態或非平衡(μ-PCD)可選擇的)，光電導性 激發光源 980 nm （默認） 測量時間取決于樣品 例如1mm分辨率 156 x 156 mm², 300 mm：不到2分鐘 尺寸 2300 x 800 x 1200 mm, 重量：250 kg 電源 110/220V, 50/60 Hz, 8 A
其它細節- 全自動化
- 晶錠圖和線掃描
選項
- 電阻率圖 ，1 cm² 分辨率
- p/n 等效圖，1 mm² 分辨率
- 鐵濃度分布圖